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兰州ECR直线等离子体发生器实验装置圆满完成验收

作者:邢银龙浏览次数: 日期:2016-02-02

2015年12月10日,由我公司承担的兰州ECR直线等离子体发生器实验装置在兰州化物所完成安装与预调试放电;放电结果表明:ECR直线等离子体发生器磁场正常,气路、水路正常,微波源正常,可正常起弧放电,调试真空度小于设计要求的1×10-4Pa,真空漏率优与设计要求的1×10-9Pa.m3/s。

ECR直线等离子体发生器实验装置包括真空室、支架、样品台、真空抽气系统、真空测量仪器、进气控制系统。其中主体真空室材料全部为 316L 无磁不锈钢,所有焊缝均为氩弧焊、真空密封焊;真空室还设计有水冷夹层,及进出水接嘴。水冷夹层能够承受 1MPa水压,无泄漏无变形,样品台需要为样品提供等离子体照射安装平台;

等离子发生器的主要工作原理是将低电压通过升压电路升至正高压及负高压,利用正高压及负高压电离气产生大量的正离子及负离子,负离子的数量大于正离子的数量,ECR直线等离子体发生器实验装置模拟了ECR微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区,最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程,研究了鞘层边界处的衔接问题,得到了自洽电势分布和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布与角分布。同时,考虑了磁场对鞘势的影响。

   聚能公司成功解决了精确温控真空钎焊、水冷夹层焊接、精密装配等关键工艺技术问题;在公司各级领导的关心支持下,公司技术、生产、质量控制人员严格把控每个制造环节,各部门精诚团结、凝心聚力、克服重重困难、保质保量历时近一年完成ECR直线等离子体发生器制造和装配工作。

ECR直线等离子体发生器

ECR直线等离子体发生器安装完成图

ECR直线等离子体发生器放电实验图

ECR直线等离子体发生器放电实验图

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该资讯的关键词为:直线等离子体发生器  微波源