您现在的位置:首页 >> 研发项目 >> 国内项目 >> 高密度等离子体源顺利通过验收

字号:   

高密度等离子体源顺利通过验收

作者:任睿浏览次数: 日期:2016-12-16

12月14日,由我公司研制的高密度等离子体源顺利通过中科院等离子体物理研究所专家组的验收,中科院等离子所党委书记张晓东、副所长吴新潮等所领导出席验收会。该项装置的成功标志着我公司在直线等离子体源研制领域又前进了一大步。

张晓东在验收会上感谢聚能公司所有高密度等离子源装置参建人员的辛勤工作,希望聚能公司凭借该装置研制的成功经验以及以往在直线等离子研制领域积累的技术力量,未来和中科院等离子体所科研人员一起实现直线等离子体源技术领域新的突破。

高密度等离子体源是一台可以产生和维持一直线段稳态等离子体的装置,包含有真空室、磁场部件、高密度等离子体源等部件,可以通过探针、样品台等可研究等离子体与材料的相互作用的基础问题,如材料的物理溅射和化学刻蚀、材料中氢和氦滞留/起泡问题、等离子体破裂对材料的影响模拟等,也可以通过窗口输入微波,研究等离子体与波相互作用的实验。

所属类别: 国内项目

该资讯的关键词为: